微量氧分析儀是一種用來進行氧氣成分分析檢驗的工具，借助它能得到某些成分種類和含量的數據。但是，它不是一種簡單的工具，既不像流量計、壓力表那樣結構簡單，也不像各種熱工儀表那樣易于操作使用。它是一類結構復雜、使用技術難度較大的工具，使用該儀器是一項較復雜且不易掌握的專門技術。

　　微量氧分析儀的核心部分是一個激光檢測裝置，其中的氦氖激光器可以發(fā)射一種安全的低功率單波激光到一個氣體測試腔內。由于激光能量微弱，裝置內部通過檢測腔兩端的反射鏡不斷進行反射，將能量放大1000倍左右。光子與氣體分子發(fā)生碰撞后發(fā)生散射，產生一種不同于激光頻譜的光譜，而且不同分子散射出來的光譜是特定不相同的，這就是我們所稱的“拉曼散射光譜”。

　　檢測腔內壁裝有8個光學濾波器和光電傳感器，用來吸收和檢測不同分子的特定光譜頻率，從而得到8種不同待測氣體成分含量。根據這種原理，每種待測氣體的含量都是通過直接測量得到的，不需要任何的導算，RLGA的檢測精度更高，反應速度更快。

　　微量氧分析儀按照光學系統(tǒng)劃分，可分為雙光路和單光路兩種：

　　（1）雙光路：從兩個相同光源或一個分配的單光源，發(fā)出兩路彼此平行的光束，分別通過分析氣室后和參比氣室后進入檢測器。

　?。?）單光路：從光源發(fā)出單束紅外光，利用切光裝置將紅外光調制成不同波長的光束，輪流通過分析氣室進入檢測器。

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